Publications

  1. "AsH3 gas-phase ex situ doping 3D silicon structures", R. Duffy, K. Thomas, E. Galluccio, G. Mirabelli, M. Sultan, N. Kennedy, N. Petkov, G. Maxwell, A. Hydes, D. O'Connell, C. Lyons, B. Sheehan, M. Schmidt, J. D. Holmes, P. K. Hurley, E. Pelucchi, J. Connolly, C. Hatem, & B. Long, J. Appl. Phys. 124, 045703 (2018).